鋁合金濺射靶材生產工藝配方技術

1、鋁合金濺射靶材

權利狀態：有權，可參考學習

技術簡介 本套資料是一種鋁合金濺射靶材，其包含含有0.1原子％～3原子％的Nd的鋁合金，X射線衍射峰值強度滿足下述式(1)的關系，維氏硬度為29～36；IAl(200)＞IAl(311)＞IAl(220)＞IAl(111)…(1)式中，IAl(200)表示Al(200)面的X射線衍射峰值強度，IAl(311)表示Al(311)面的X射線衍射峰值強度，IAl(220)表示Al(220)面的X射線衍射峰值強度，IAl(111)表示Al(111)面的X射線衍射峰值強度。

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7%材料

2、鋁合金濺射靶材 有權 可參考學習

技術開發： 株式會社鋼臂功科研

技術簡介本套資料是一種鋁合金濺射靶材，其包含含有0.1原子％～3原子％的Nd的鋁合金，X射線衍射峰值強度滿足下述式(1)的關系，維氏硬度為29～36；IAl(200)＞IAl(311)＞IAl(220)＞IAl(111)…(1)式中，IAl(200)表示Al(200)面的X射線衍射峰值強度，IAl(311)表示Al(311)面的X射線衍射峰值強度，IAl(220)表示Al(220)面的X射線衍射峰值強度，IAl(111)表示Al(111)面的X射線衍射峰值強度。

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